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MIS结构

MIS结构

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MIS结构

MIS结构指金属-绝缘层-半导体结构 ,是研究半导体表面效应的重要方面。许多半导体器件的特性都和半导体的表面性质有着密切的关系。例如,半导体的表面状态和半导体集成电路的参数和稳定性有很大影响。在某些情况下,往往不是半导体的体内效应,而是其表面效应支配着半导体器件的特性。例如MOS(金属—氧化物—半导体)器件,就是利用半导体表面效应而制成的。因此,研究半导体表面究象,发展有关半导体表面的理论,对MIS结构的研究,对于改善器件性能,提高器件稳定性,以及指导人们探索新发器件等都有着十分重要的意义。

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