单晶薄膜制备技术-酷唯百科

单晶薄膜制备技术

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单晶薄膜制备技术

薄膜按其晶体结构，有单晶、多晶、非晶薄膜之分。单晶薄膜需要在单晶基板上通过外延(epitaxy)的方法才能做出。藉由外延生长的薄膜称为外延膜。单晶薄膜制备技术通常指分子束外延技术，用真空蒸镀法或溅射法来制作单晶薄膜较困难，所必须考虑的重要因素是恰当的基片和适宜的温度。此外，薄膜形成时的真空度和薄膜形成速率也有一定程度的影响。