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氮化硅膜

氮化硅膜

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氮化硅膜

氮化硅膜(Silicon nitridc film)是指硅氮化合物的薄膜,常用作微电子技术电绝缘层。化学计量比的氮化硅由正方氮化硅晶胞组成,多余的硅原子在其中排列成六方结构。

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