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硅压阻式压力传感器

硅压阻式压力传感器

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硅压阻式压力传感器

硅压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应制成的。在硅膜片特定方向上扩散4个等值的半导体电阻,并连接成惠斯通电桥,作为力——电变换器的敏感元件。当膜片受到外界压力作用,电桥失去平衡时,若对电桥加激励电源(恒流和恒压),便可得到与被测压力成正比的输出电压,从而达到测量压力的目的。

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