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裁剪技术

裁剪技术

的有关信息介绍如下:

裁剪技术

裁剪工艺并不能增强光刻工艺分辨率,其本质任务是对自对准多重图形成像技术(SAMP)或多重光刻技术(LEn)进行精细加工,实现对规则图形的切割或填充。

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